​ CNC精密零配（pèi）件加（jiā）工的特點

     超精密零配件加工方法的（de）特點是對外表層物質去除或添加的量能夠作極細微的控製。但是要獲（huò）得cnc超（chāo）精密零件加工精（jīng）度（dù），仍有賴於（yú）精密的加（jiā）工設備和準確的克製係統，並（bìng）采用超精密掩膜作中介物。例如超（chāo）大規模集成電路的製（zhì）版即（jí）使（shǐ）采用電（diàn）子束對掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）舉行曝射，使光致抗蝕劑（jì）的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉（diào），製成掩膜。電子束曝射製版必要采用工作台定位精度高達±0.01微米的超精密加工設備（bèi）。

    超精密零配件（jiàn）加工，主要有超精密車削（xuē）、鏡麵磨削和研磨等。在超精密車（chē）床上用通過精細研磨的單晶金剛石車刀舉行（háng）微量車削,切削厚度僅（jǐn）1微（wēi）米左右，常用於加工有色金屬材（cái）料的球麵、非球麵和平麵的反射鏡等高精度、外表高度光潔的零件。例如加工（gōng）核聚變裝置用（yòng）的直徑為800毫米的非球（qiú）麵反射鏡，高精度可達0.1微米，外表（biǎo）粗糙度為Rz0.05微米。

     超精密零配（pèi）件加工精度以納米，甚至後以原子單位（wèi）(原子晶格（gé）距離為0.1～0.2納米)為目標時，超精密零件切削加工方法已不能適應，必要借助特種精密零配（pèi）件加（jiā）工的方（fāng）法，即應用化（huà）學能（néng）、電化學能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的聯（lián）合能（néng），從而去除工件外（wài）表的部分（fèn）原子間的附著、聯合或晶格變（biàn）形，以達到超精密加工（gōng）的目的。屬於這類加工的有（yǒu）機械化學拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射（shè）、激光束（shù）加工、金屬蒸（zhēng）鍍和分（fèn）子束外延（yán）等。